Применение ионно-плазменных процессов в производстве изделий электронной техники / [В. И. Орлов]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Орлов, В. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| Физические характеристики: |
43, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 11 |
Загрузка