Применение ионно-плазменных процессов в производстве изделий электронной техники / [В. И. Орлов]

Сохранено в:
Шифр документа: 154736-11,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Орлов, В. И.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979
Физические характеристики: 43, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1979, вып. 11
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001464859
005 20180426144140.0
100 # # $a 20180424d1979 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Применение ионно-плазменных процессов в производстве изделий электронной техники  $f [В. И. Орлов] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1979 
215 # # $a 43, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1979, вып. 11 
304 # # $a Автор указан на обложке 
320 # # $a Библиография: с. 43―44 (50 назв.) 
345 # # $9 1750 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1979, вып. 11 
700 # 1 $a Орлов  $b В. И.  $g Василий Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180424  $g psbo