Осаждение тонких пленок из низкоэнергетических ионных пучков / [Е. Я. Черняк]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Черняк, Е. Я. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| Физические характеристики: |
55 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 14 |
Загрузка