Технология и оборудование для нанесения тонких пленок / М. И. Березин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Березин, М. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1972 |
| Физические характеристики: |
41, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1972, вып. 9 |
| Предмет: |
Загрузка