Технология и оборудование для нанесения тонких пленок / М. И. Березин

Сохранено в:
Шифр документа: 111880-8,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Березин, М. И.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1972
Физические характеристики: 41, [2] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1972, вып. 9
Предмет:
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001464483
005 20181102140241.0
100 # # $a 20180424d1972 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a la 
200 1 # $a Технология и оборудование для нанесения тонких пленок  $f М. И. Березин 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1972 
215 # # $a 41, [2] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Технология и организация производства  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1972, вып. 9 
320 # # $a Библиография: с. 41―42 (47 назв.) 
345 # # $9 1400 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0001378097  $1 2001   $v 1972, вып. 9 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39074  $a ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21929  $a ОРГАНИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.3  $v 4  $z rus 
686 # # $a 49.01.05  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $a Березин  $b М. И.  $g Михаил Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180424  $g psbo