|
|
|
|
|
00000cam2a22000001ij4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001454269 |
| 005 |
20180313171736.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [92-10278ж]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20180313d2013 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a|||||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Квантовые компьютеры, микро– и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование
$e [сборник статей]
$f главный редактор А. А. Орликовский
$g ответственный редактор В. Ф. Лукичев
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Наука
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 210, [3] с.
$c граф., ил., схемы, табл.
$d 23 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Труды ФТИАН
$f Российская академия наук, Физико-технологический институт
$x 0868-7129
$v т. 23
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br59880
$1 2001
$v Т. 23
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микролитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(082)
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar390261
$a Орликовский
$b А. А.
$g Александр Александрович
$c доктор технических наук
$f 1938—2016
$4 651
|
| 702 |
# |
1 |
$a Лукичев
$b В. Ф.
$g Владимир Федорович
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-ar9947005
$a Физико-технологический институт
$c Москва
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071112
$g psbo
|
