Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Рябышенков Андрей Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//218431(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Рябышенков, А. С.
Опубликовано: Москва , 2018
Физические характеристики: 46 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001452944
005 20180627114057.0
100 # # $a 20180305d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий  $f Рябышенков Андрей Сергеевич  $g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] 
210 # # $a Москва  $d 2018 
215 # # $a 46 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 41—46 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14342  $a КОНДИЦИОНИРОВАНИЕ ВОЗДУХА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar54787  $a ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ НАДЗОР  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar84874  $a ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18378  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.13  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.14.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.55.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 67.53.25  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar7823687  $a Рябышенков  $b А. С.  $g Андрей Сергеевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180305  $g psbo