Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы / Г. В. Шуваев, О. М. Чигринский, О. И. Бочкин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шкваев, Г. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975 |
| Физические характеристики: |
39, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1975, вып. 2 |
Загрузка