Интерферометрические устройства контроля линейных перемещений и их применение в технологическом оборудовании / А. Х. Хитрин, Е. М. Сундукова, Б. А. Овсов
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Хитрин, А. Х. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973 |
Физические характеристики: |
32, [2] с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1973, вып. 1 |
Загрузка