Методы и оборудование для физико-химических исследований поверхности материалов электронной техники. Ч. 2: (научно-техническая конференция, февраль 1983 г.): [сборник статей / научный редактор А. Г. Денисов]

Сохранено в:
Шифр документа: 182755-3,
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Электроника , 1982
Физические характеристики: 92 с. : граф., схемы, табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Тезисы докладов конференций вып. 3 (187)
Загрузка