Лучистый инфракрасный нагрев в полупроводниковом и микроэлектронном производстве / Ю. И. Прохоров, Ю. П. Ирошников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Прохоров, Ю. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973 |
| Физические характеристики: |
76 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1973, вып. 9 |
Загрузка