Лучистый инфракрасный нагрев в полупроводниковом и микроэлектронном производстве / Ю. И. Прохоров, Ю. П. Ирошников

Сохранено в:
Шифр документа: 125382-8,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Прохоров, Ю. И.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973
Физические характеристики: 76 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1973, вып. 9
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001444054
005 20180125153924.0
100 # # $a 20180125d1973 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Лучистый инфракрасный нагрев в полупроводниковом и микроэлектронном производстве  $f Ю. И. Прохоров, Ю. П. Ирошников 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1973 
215 # # $a 76 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1973, вып. 9 
320 # # $a Библиография: с. 69―75 (267 назв.) 
345 # # $9 1760 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78454  $1 2001   $v 1973, вып. 9 
700 # 1 $a Прохоров  $b Ю. И.  $g Юрий Иванович 
701 # 1 $a Ирошников  $b Ю. П.  $g Юрий Павлович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180125  $g psbo