Аналитическое приборостроение: физические исследования, автоматизация и технология производства тонких пленок: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1984 г.): [сборник статей / научный редактор А. Г. Денисов]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Москва : Электроника , 1984 |
Физические характеристики: |
48, [1] с., включая обложку : граф. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Тезисы докладов конференций
вып. 3 (209) |
Загрузка