Аналитическое приборостроение для микроэлестроники: технология получения тонких пленок, физические исследования, оборудование, программное обеспечение: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1985 г.): [сборник статей / научный редактор А. Г. Денисов]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1985 |
| Физические характеристики: |
56, [1] с., включая обложку : табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
вып. 4 (224) |
Загрузка