Приборостроение для микроэлектроники: технология, физика и диагностика тонкопленочных структур, компьютеризация приборов: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1986 г.): [сборник статей / научный редактор О. Д. Протопопов]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1986 |
| Физические характеристики: |
48 с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
вып. 4 (246) |
Загрузка