|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443975 |
| 005 |
20180126101442.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180125d1986 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a y ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Приборостроение для микроэлектроники: технология, физика и диагностика тонкопленочных структур, компьютеризация приборов
$e (материалы научно-технического семинара, декабрь 1986 г.)
$e [сборник статей
$f научный редактор О. Д. Протопопов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 48 с.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тезисы докладов конференций
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 4 (246)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000328593
$1 2001
$v Вып. 4
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-ar1164211
$a Протопопов
$b О. Д.
$g Олег Дмитриевич
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171121
$g psbo
|
