Физико-аналитическое оборудование в научных исследованиях и технологии современной микроэлектроники: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1988 г.): [сборник статей / научный редактор Г. А. Шерозия]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1988 |
| Физические характеристики: |
43 с. : граф., ил., табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
вып. 2 (276) |
Загрузка