Методы и средства контроля полупроводниковых и диэлектрических структур: (материалы научно-технического совещания, сентябрь 1986 г.): [сборник статей / научный редактор В. Г. Тугарин]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1986 |
| Физические характеристики: |
68 с. : схемы ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
вып. 2 (232) |
Загрузка