|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443953 |
| 005 |
20180124201004.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180124d1986 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы и средства контроля полупроводниковых и диэлектрических структур
$e (материалы научно-технического совещания, сентябрь 1986 г.)
$e [сборник статей
$f научный редактор В. Г. Тугарин]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 68 с.
$c схемы
$d 20 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тезисы докладов конференций
$h Серия 8
$i Управление качеством, стандартизация, метрология, испытания
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 2 (232)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br77955
$1 2001
$v Вып. 2
|
| 702 |
# |
1 |
$a Тугарин
$b В. Г.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171121
$g psbo
|
