Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления / А. Я. Патракова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Патракова, А. Я. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1969 |
| Физические характеристики: |
37, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1969, вып. 39 |
Загрузка