Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления / А. Я. Патракова

Сохранено в:
Шифр документа: 101109-37,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Патракова, А. Я.
Опубликовано: Москва : Институт "Электроника" , 1969
Физические характеристики: 37, [2] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1969, вып. 39
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001443870
005 20180125141953.0
100 # # $a 20180124d1969 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления  $f А. Я. Патракова 
210 # # $a Москва  $c Институт "Электроника"  $d 1969 
215 # # $a 37, [2] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Технология и организация производства  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1969, вып. 39 
320 # # $a Библиография: с. 36―37 (19 назв.) 
345 # # $9 1400 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0001378091  $1 2001   $v 1969, вып. 39 
700 # 1 $a Патракова  $b А. Я.  $g Алла Якрвлевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180124  $g psbo