Самоформирование микроструктур в технологии изготовления интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1985 гг.) / Р. Б. Навицкас
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Навицкас, Р. Б. |
| Wydane: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Opis fizyczny: |
43 с. : ил. ; 21 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 1 |
1986, Вып.1: Самоформирование микроструктур в технологии... / Навицкас Р. Б.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||