Самоформирование микроструктур в технологии изготовления интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1985 гг.) / Р. Б. Навицкас
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Навицкас, Р. Б. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
43 с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 1 |
1986, Вып.1: Самоформирование микроструктур в технологии... / Навицкас Р. Б.
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||