|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443558 |
| 005 |
20180123132121.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионолитография, особенности и перспективы развития
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1983 гг.)
$f Ю. С. Боков, А. Н. Шокин
$g [научный редактор В. Г. Ржанов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 39 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1984, вып. 6
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 42―46 (44 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2370 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1984, вып. 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Боков
$b Ю. С.
$g Юрий Сергеевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Шокин
$b А. Н.
$g Алексей Никифорович
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ржанов
$b В. Г.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
