Реактивное ионное травление: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1983 гг.) / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев, Д. А. Назаров
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилин, Б. С. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984 |
| Физические характеристики: |
71 c. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1984, вып. 1 |
Загрузка