|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443461 |
| 005 |
20180123090015.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180123d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Реактивное ионное травление
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1983 гг.)
$f Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев, Д. А. Назаров
$g научный редактор О. Л. Колесник
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 71 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1984, вып. 1
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 63―71 (80 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2370 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1984, вып. 1
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Киреев
$b В. Ю.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Назаров
$b Д. А.
|
| 702 |
# |
1 |
$a Колесник
$b О. Л.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
