Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники. Ч. 1 / И. Г. Блинов [и. др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Блинов, И. Г. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1974 |
| Физические характеристики: |
84 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1974, вып. 7 |
Загрузка