Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники. Ч. 1 / И. Г. Блинов [и. др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 126482-3,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Блинов, И. Г.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1974
Физические характеристики: 84 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1974, вып. 7
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001443256
005 20180122101447.0
100 # # $a 20180122d1974 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники. Ч. 1  $i Физические основы  $f И. Г. Блинов [и. др.] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1974 
215 # # $a 84 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1974, вып. 7 
320 # # $a Библиография: с. 73―84 (254 назв.) 
345 # # $9 1840 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78454  $1 2001   $v 1974, вып. 7 
700 # 1 $a Блинов  $b И. Г.  $g Иван Григорьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170403  $g psbo