Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии. Ч. 2 / составители: Пинес Г. Э., Рокицкая Я. П.
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | Москва : Электроника , 1971 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
130, [1] с. ; 20 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Тематические указатели литературы
вып. 2 (166) |
1971, Вып.2: Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой... Ч.2
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||