Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии. Ч. 2 / составители: Пинес Г. Э., Рокицкая Я. П.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1971 |
| Физические характеристики: |
130, [1] с. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 2 (166) |
Загрузка