Фото-, электроно-, рентгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем / [составитель Р. А. Карпович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1976 |
| Физические характеристики: |
80, [1] с. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 10 (177) |
Загрузка