Получение тонких пленок методом катодного распыления / составитель Т. Н. Протопопова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1970 |
| Физические характеристики: |
25, [3] с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 11 (131) |
Загрузка