Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками / составители: А. П. Казаков, Я. П. Рокицкая
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1971 |
| Физические характеристики: |
75, [1] с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 3а (178) |
Загрузка