Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками / составители: А. П. Казаков, Я. П. Рокицкая

Сохранено в:
Шифр документа: 110715-15,
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Электроника , 1971
Физические характеристики: 75, [1] с. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Тематические указатели литературы вып. 3а (178)
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001432331
005 20171129132353.0
100 # # $a 20171129d1971 |||y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a SU 
105 # # $a y ||||000yy 
200 1 # $a Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками  $f составители: А. П. Казаков, Я. П. Рокицкая  $g [редактор А. Б. Соркина] 
210 # # $a Москва  $c Электроника  $d 1971 
215 # # $a 75, [1] с.  $d 21 см 
225 1 # $a Тематические указатели литературы  $i Серия: Технология и организация производства  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v вып. 3а (178) 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0000319434  $1 2001   $v Вып. 3а 
702 # 1 $a Казаков  $b А. П.  $4 220 
702 # 1 $a Рокицкая  $b Я. П.  $4 220 
702 # 1 $a Соркина  $b А. Б.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20171124  $g psbo