Электронная литография и ее применение в микроэлектронике: (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23―24 октября 1975 г., г. Москва): [сборник статей / под редакцией Г. Х. Сатарова]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1976 |
| Физические характеристики: |
52, [1] с., включая обложку : граф., схемы, табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике
вып. 1 (53) |
Загрузка