Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем: (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 21―22 октября 1975 г., г. Москва): [сборник статей / под редакцией И. Г. Блинова]

Сохранено в:
Шифр документа: 139651-2,
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Электроника , 1976
Физические характеристики: 40 с. : схемы, табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике вып. 2 (54)
Загрузка