Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем: (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 21―22 октября 1975 г., г. Москва): [сборник статей / под редакцией И. Г. Блинова]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника , 1976 |
| Физические характеристики: |
40 с. : схемы, табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике
вып. 2 (54) |
Загрузка