|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001431220 |
| 005 |
20171124131540.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20171124d1976 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем
$e (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 21―22 октября 1975 г., г. Москва)
$e [сборник статей
$f под редакцией И. Г. Блинова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1976
|
| 215 |
# |
# |
$a 40 с.
$c схемы, табл.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 2 (54)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br77953
$1 2001
$v Вып. 2
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-a323329
$a Блинов
$b И. Г.
$g Иван Григорьевич
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171121
$g psbo
|
