Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Юрьева Алена Викторовна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//216149(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Юрьева, А. В.
Опубликовано: Томск , 2017
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
МАГНЕТРОННЫЯ ГЕНЕРАТАРЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
РАСПЫЛЕНИЕ
МАГНЕТРОННАЕ РАСПЫЛЕННЕ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001431185
005 20180209104018.0
100 # # $a 20171124d2017 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Юрьева Алена Викторовна  $g [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] 
210 # # $a Томск  $d 2017 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—22 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17968  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar61075  $a МАГНЕТРОННЫЯ ГЕНЕРАТАРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27459  $a РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777101  $a МАГНЕТРОННАЕ РАСПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
686 # # $a 55.22.19  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5204800  $a Юрьева  $b А. В.  $g Алена Викторовна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20171124  $g psbo 

Схожие документы