|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001413961 |
| 005 |
20171219142153.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170918d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaN/GaN
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Трофимов Александр Александрович
$g [Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2017
|
| 215 |
# |
# |
$a 29 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 29 (13 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24604
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2122596
$a СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7368
$a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2326536
$a САПФИРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar12905997
$a Трофимов
$b А. А.
$g Александр Александрович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170918
$g psbo
|
