Шлюзовые системы вакуумных напылительных установок и вопросы повышения производительности / Г. А. Алексеев, С. Г. Аракелян, Г. С. Трошина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Алексеев, Г. А. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1969 |
| Физические характеристики: |
31, [1] c. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1969, вып. 78 |
Загрузка