|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001394843 |
| 005 |
20170621094546.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170621d1969 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Шлюзовые системы вакуумных напылительных установок и вопросы повышения производительности
$f Г. А. Алексеев, С. Г. Аракелян, Г. С. Трошина
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Институт "Электроника"
$d 1969
|
| 215 |
# |
# |
$a 31, [1] c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1969, вып. 78
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30―31 (20 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1141 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0001378091
$1 2001
$v 1969, вып. 78
|
| 700 |
# |
1 |
$a Алексеев
$b Г. А.
$g Генрих Александрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Аракелян
$b С. Г.
$g Станислав Гургенович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Трошина
$b Г. С.
$g Галина Сергеевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170621
$g psbo
|
