Исследование характеристик рассеяния электронов в твердых телах для определения толщин нанопокрытий методами электронной спектроскопии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Грязев Александр Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Грязев, А. С. |
| Опубликовано: | Москва , 2017 |
| Физические характеристики: |
23 с., включая обложку : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||