|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001394175 |
| 005 |
20180126115831.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170619d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование характеристик рассеяния электронов в твердых телах для определения толщин нанопокрытий методами электронной спектроскопии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Грязев Александр Сергеевич
$g [Национальный исследовательский университет "МЭИ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2017
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с., включая обложку
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39094
$a ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2427704
$a РАССЕЯНИЕ ЭЛЕКТРОНОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32988
$a ТВЕРДЫЕ ТЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13163639
$a НАНОПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.31.26
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.24
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar12602262
$a Грязев
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170619
$g psbo
|
