Светоизлучающие структуры на основе пленок нестехиометрического нитрида кремния и слоев кремния, имплантированных ионами индия и мышьяка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Пархоменко Ирина Николаевна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//6069(039), ##32Н//370773CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Пархоменко, И. Н.
Опубликовано: Минск , 2016
Физические характеристики: 143, [3] л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
НИТРИД КРЕМНИЯ
НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
КРЕМНИЙ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ИНДИЙ
МЫШЬЯК
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ
ФАЗОВЫЙ СОСТАВ
СПЕКТРАЛЬНО-ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА
светоизлучающие структуры
святловыпраменьваючыя структуры
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001380989
005 20170530112656.0
100 # # $a 20170429h20162016k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Светоизлучающие структуры на основе пленок нестехиометрического нитрида кремния и слоев кремния, имплантированных ионами индия и мышьяка  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников  $f Пархоменко Ирина Николаевна  $g научный руководитель Комаров Ф. Ф.  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 2016 
215 # # $a 143, [3] л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 124—143 
328 # 0 $d Защищена 21.10.2016, утверждена 11.01.2017 
333 # # $a Электронная копия размещена с разрешения автора 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001321000 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21773  $a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1756760  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20812  $a НИТРИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5240096  $a НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11674  $a ИНДИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19340  $a МЫШЬЯК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4185320  $a АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39332  $a ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35619  $a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31455  $a СПЕКТРАЛЬНО-ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
610 0 # $a светоизлучающие структуры 
610 0 # $a святловыпраменьваючыя структуры 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.38-03:621.315.61-026.762-026.764(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.38-03:621.315.592.3:546.28(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.23(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar11197112  $a Пархоменко  $b И. Н.  $g Ирина Николаевна  $c кандидат физико-математических наук 
702 # 1 $3 BY-SEK-186602  $a Комаров  $b Ф. Ф.  $g Фадей Фадеевич  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20160928  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001380989&fileID=9427328 

Схожие документы