Лазерная активация электрохимических процессов формирования токопроводящих структур электронной техники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Купо Александр Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//5960(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Купо, А. Н. (род. 1979)
Опубликовано: Минск , 2016
Физические характеристики: 135 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
АКТИВАЦИЯ
ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001379736
005 20220429110941.0
100 # # $a 20170426h20162016k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Лазерная активация электрохимических процессов формирования токопроводящих структур электронной техники  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Купо Александр Николаевич  $g научные руководители: Хмыль Александр Александрович, Федосенко Николай Николаевич  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Учреждение образования "Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины" 
210 # # $a Минск  $d 2016 
215 # # $a 135 л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 121—132 
328 # 0 $d Защищена 01.12.2016, утверждена 29.03.2017 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001331703 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39310  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39302  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1791918  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2047  $a АКТИВАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15677  $a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17280  $a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.38-027.3:621.793.3:621.357.74(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793.09:621.9.048.7(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar6091925  $a Купо  $b А. Н.  $g Александр Николаевич  $c кандидат технических наук  $c физик  $f род. 1979 
702 # 1 $3 BY-SEK-123108  $a Хмыль  $b А. А.  $g Александр Александрович  $c ученый-радиофизик  $f род. 1942  $4 727 
702 # 1 $3 BY-SEK-1009578  $a Федосенко  $b Н. Н.  $g Николай Николаевич  $c кандидат технических наук  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar170090  $a Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины  $4 595  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20161103  $g RCR 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/51976/2/default.html 

Схожие документы