Оптимизация тепловых процессов в микроэлектронных структурах: автореферат диссертации на соискание степени магистра техники и технологии: специальность 1-39 81 01
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Петров, С. И. |
| Опубликовано: | Минск , 2017 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |