Проблемы надежности многоуровневой металлизации больших интегральных схем: (краткий обзор по иностранным источникам) / [А. И. Пыхтунова]

Сохранено в:
Шифр документа: 138482-24,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Пыхтунова, А. И.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975
Физические характеристики: 54 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1975, вып. 13
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001377219
005 20170415150402.0
100 # # $a 20170415d1975 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Проблемы надежности многоуровневой металлизации больших интегральных схем  $e (краткий обзор по иностранным источникам)  $f [А. И. Пыхтунова] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1975 
215 # # $a 54 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1975, вып. 13 
320 # # $a Библиография: с. 53―54 (22 назв.) 
345 # # $9 1880 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1975, вып. 13 
700 # 1 $a Пыхтунова  $b А. И.  $g Александра Ивановна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170415  $g psbo