Проблемы надежности многоуровневой металлизации больших интегральных схем: (краткий обзор по иностранным источникам) / [А. И. Пыхтунова]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Пыхтунова, А. И. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975 |
Физические характеристики: |
54 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1975, вып. 13 |
00000cam2a22000003is4500 | |||
001 | BY-NLB-br0001377219 | ||
005 | 20170415150402.0 | ||
100 | # | # | $a 20170415d1975 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
105 | # | # | $a a ||||000yy |
200 | 1 | # | $a Проблемы надежности многоуровневой металлизации больших интегральных схем $e (краткий обзор по иностранным источникам) $f [А. И. Пыхтунова] |
210 | # | # | $a Москва $c ЦНИИ "Электроника" $d 1975 |
215 | # | # | $a 54 с. $c ил. $d 21 см |
225 | 1 | # | $a Обзоры по электронной технике $h Серия 2 $i Полупроводниковые приборы $f Министерство электронной промышленности СССР $v 1975, вып. 13 |
320 | # | # | $a Библиография: с. 53―54 (22 назв.) |
345 | # | # | $9 1880 экз. |
461 | # | 1 | $1 001BY-NLB-br78453 $1 2001 $v 1975, вып. 13 |
700 | # | 1 | $a Пыхтунова $b А. И. $g Александра Ивановна |
801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20170415 $g psbo |