Радиационные дефекты при ионной имплантации кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1969―1975 гг.) / В. В. Юдин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Юдин, В. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Физические характеристики: |
106 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 2 |
Загрузка