Автоэпитаксиальные пленки кремния для полупроводниковых приборов и интегральных схем: (по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1971 гг.) / А. М. Полянский
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Полянский, А. М. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1972 |
| Физические характеристики: |
36, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1972, вып. 5 |
Загрузка