Перераспределение примесей в процессе термического окисления кремния: по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1970 гг. / А. В. Колосовский
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Колосовский, А. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
51, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 6 |
Загрузка